| 查看: 1555 | 回复: 4 | ||
[求助]
台阶仪测试如何制作好的台阶？ 已有2人参与
|
|
我是在硅片上做的一个类似多孔SiO2的薄膜，厚度100nm到几百nm不等，之前都用椭偏仪测厚度的，现在椭偏仪坏了，考虑用台阶仪测厚度，因此需要制作好的台阶； 我们的薄膜是用PECVD做的，如果长膜之前用胶带或者别的东西覆盖衬底来做台阶的话，得到的薄膜不均与，台阶附近的膜与其他部分颜色明显不同（即厚度不同）； 如果用尖的东西（如镊子）划一下来做台阶的话，会不会划到硅片，导致测的厚度偏大？？我用镊子划了一下空白硅片，有时候能划出划痕。。。是不是要选择硬度适中的东西来划，使能划开薄膜但是不能划开硅片？？但是又如何确定完全划掉薄膜了呢？？感觉这种方法有点不靠谱？ 考虑用HF腐蚀的方法，把样品一部分浸泡在HF中作台阶，但是由于是多孔材料，存在毛细作用，泡一会了发现未浸泡的部分颜色也发生了变化，似乎也被腐蚀了。。。 如果用涂胶+刻蚀+去胶的方法，首先非常麻烦，并且去胶过程中（无论干法还是湿法）可能会对薄膜厚度造成影响，导致厚度测的不准。 还是制作台阶的好方法吗？？ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有286人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 高聚物薄膜如何测膜厚呢
已经有12人回复
- 台阶仪测试问题，急急急。
已经有19人回复
- 硅片衬底薄膜做台阶仪台阶用硅片刀或玻璃刀切可行吗？
已经有8人回复
- 关于台阶仪测量厚度的问题
已经有8人回复
- 请问哈尔滨哪里有“表面轮廓仪”或者“台阶测厚仪”，可以测量微米级高度差异的？多谢
已经有6人回复
- 3D轮廓图上的金网格怎么看都象金格嵌入到石英板里面了，为什么？
已经有9人回复
- 怎么测涂层厚度
已经有24人回复
- 薄膜厚度测试方法精准度
已经有15人回复
- 求问：薄膜厚度的测试方法、仪器
已经有20人回复
- 【交流】如何测试ITO上渡的膜厚度
已经有9人回复
- 【求助】关于静电纺丝膜测试厚度
已经有7人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
- 【请教】如何测微米纳米量级薄膜的确切厚度
已经有7人回复
FLYFWY
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3611.8
- 红花: 1
- 帖子: 160
- 在线: 113小时
- 虫号: 747879
- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
2楼2014-10-20 22:22:23
perry_ping 
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
3楼2015-01-14 15:25:03
糖醋鲶鱼
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 139.5
- 帖子: 2
- 在线: 2.7小时
- 虫号: 3936389
- 注册: 2015-06-23
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2015-06-25 14:23:53
5楼2015-09-22 08:18:27
精华III:
20