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fuyingyin

金虫 (小有名气)

[交流] 有关晶体分析的问题

利用溅射方法制备了AlN薄膜,XRD分析发现是fcc-AlN的衍射峰薄膜,表面XPS分析发现在72eV的位置有Al的峰出现,而对表面用Ar+离子轰击后这个Al的峰就没了。我想知道Al在薄膜中是怎么存在的?要是存在于晶格间隙,那就是Al-N键了,应该不会只是Al啊!是存在于晶粒间隙吗?会不会存在于晶粒中而还没有进入晶格或者是晶格间隙呢?因为对晶体不是很了解,请大家帮忙分析一下,谢谢!
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