| 查看: 3115 | 回复: 16 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
[求助]
急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 已有9人参与
|
|||||
|
急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 新手上路,哈哈 射频生长、NiO薄膜,想测出XRD: 3寸NiO靶材,在玻璃基板上, 首先,用120w,170w的RF,通Ar:O2 为15,15sccm,沉积1小时,虽然靶材中间出现了裂纹,但生长的膜,还是太薄,或者结晶差,测不出XRD。 然后,用100w的RF,通Ar:O2 为50,50sccm,沉积1小时,还是测不出XRD的峰。 到底该怎么做呢? 多谢! |
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
磁控溅射靶材资料大全 | Target and film | 磁控溅射氧化物 |
» 猜你喜欢
论文终于录用啦!满足毕业条件了
已经有12人回复
2025年遐想
已经有4人回复
投稿Elsevier的杂志(返修),总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
求个博导看看
已经有18人回复
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
在Si(100)衬底上生长纳米线取向问题
已经有6人回复
硅片上的薄膜的XRD怎么测
已经有10人回复
高聚物薄膜如何测膜厚呢
已经有12人回复
制备二氧化锰和膨胀石墨,为什么XRD测试总是有问题呢?求指导
已经有5人回复
武汉哪个地方能够测XRD极图?
已经有4人回复
TiO2的XRD的背底很高这个是什么问题呢?
已经有13人回复
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
XRD无法检测出物质的原因是什么?
已经有21人回复
磁控溅射制备CZTS薄膜
已经有6人回复
请问XRD测试薄膜的最小厚度需要多少?
已经有4人回复
磁控溅射的分子泵真空抽不上去
已经有23人回复
磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢?
已经有32人回复
关于台阶仪测量厚度的问题
已经有8人回复
实验室的磁控溅射和XRD在非工作状态下对人体有害吗?
已经有6人回复
氧化铟薄膜XRD测试
已经有6人回复
关于TiO2的XRD图
已经有5人回复
xrd测试没有衬底衍射峰
已经有4人回复
关于BiFeO3薄膜XRD峰的问题
已经有23人回复
薄膜XRD测试高手进
已经有3人回复
【讨论】sol-gel制备NiCuZn铁氧体薄膜前驱体
已经有5人回复
瑞舞轻扬
木虫 (正式写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 1923.4
- 散金: 1200
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 104.4小时
- 虫号: 2493928
- 注册: 2013-06-03
- 性别: GG
- 专业: 催化化学
15楼2014-10-20 10:49:32








回复此楼