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ljlaser

铁虫 (初入文坛)


[求助] 急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢! 已有9人参与

急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢!
新手上路,哈哈
射频生长、NiO薄膜,想测出XRD:
3寸NiO靶材,在玻璃基板上,
首先,用120w,170w的RF,通Ar:O2 为15,15sccm,沉积1小时,虽然靶材中间出现了裂纹,但生长的膜,还是太薄,或者结晶差,测不出XRD。
然后,用100w的RF,通Ar:O2 为50,50sccm,沉积1小时,还是测不出XRD的峰。

到底该怎么做呢?

多谢!
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瑞舞轻扬

木虫 (正式写手)

15楼2014-10-20 10:49:32
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