应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！
71/1返回列表
查看: 1349  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

toowowo

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！ 已有2人参与

磁控溅射做掺杂，把掺杂物混在靶材里溅射，由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”，xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英，薄膜导电性能不好，薄膜厚度为0.3微米左右，无法剥落，请教了！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-03-20 00:23:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao901127

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是可以提高掺杂浓度。用xps检测。以此类推，可知道低浓度也能掺杂进去？个人意见

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-03-20 08:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。
赞一下 回复此楼
3楼2014-03-20 15:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

toowowo

铜虫 (正式写手)
低浓度掺杂和高浓度掺杂表现出了不同的性质，正好是低浓度的掺杂是我们所希望的，所以那样依次类推不太合适吧？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-21 12:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
赞一下
5楼2014-03-31 17:41:48
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xjian2010 at 2014-03-20 15:55:31
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。

XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？
赞一下 回复此楼
6楼2014-04-01 14:56:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-01 14:56:01
XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？...

恩，如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，的确很难测出来
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2014-04-01 21:14:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 toowowo 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 281求调剂（0805） +9 烟汐忆海 2026-03-16 19/950 2026-03-19 11:42 by laoshidan
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +4 生物工程调剂 2026-03-16 12/600 2026-03-19 11:10 by 生物工程调剂
[考研] 274求调剂 +6 S.H1 2026-03-18 6/300 2026-03-19 09:34 by 花店相见
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考研] 286求调剂 +6 lemonzzn 2026-03-16 9/450 2026-03-18 15:31 by vgtyfty
[考研] 311求调剂 +11 冬十三 2026-03-15 12/600 2026-03-18 14:36 by 星空星月
[考研] 0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历 +10 曦熙兮 2026-03-15 10/500 2026-03-18 14:19 by 007_lilei
[考博] 环境领域全国重点实验室招收博士1-2名 +3 QGZDSYS 2026-03-13 5/250 2026-03-18 11:13 by QGZDSYS
[考研] 生物学071000 329分求调剂 +3 我爱生物生物爱� 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:12 by macy2011
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 考研化学学硕调剂，一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[基金申请] 今年的国基金是打分制吗？ 50+3 zhanghaozhu 2026-03-14 3/150 2026-03-16 17:07 by 北京莱茵润色
[考研] 321求调剂 +5 大米饭！ 2026-03-15 5/250 2026-03-16 16:33 by houyaoxu
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +6 RuitingC 2026-03-12 6/300 2026-03-16 14:50 by 可淡不可忘
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭