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toowowo

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂,掺杂浓度特底,前来请教测试方法!已有2人参与

磁控溅射做掺杂,把掺杂物混在靶材里溅射,由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”,xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英,薄膜导电性能不好,薄膜厚度为0.3微米左右,无法剥落,请教了!

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toowowo

铜虫 (正式写手)

低浓度掺杂和高浓度掺杂表现出了不同的性质,正好是低浓度的掺杂是我们所希望的,所以那样依次类推不太合适吧?

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4楼2014-03-21 12:05:02
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