24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1387  |  回复: 6

toowowo

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂,掺杂浓度特底,前来请教测试方法! 已有2人参与

磁控溅射做掺杂,把掺杂物混在靶材里溅射,由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”,xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英,薄膜导电性能不好,薄膜厚度为0.3微米左右,无法剥落,请教了!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gao901127

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
是不是可以提高掺杂浓度。用xps检测。以此类推,可知道低浓度也能掺杂进去?个人意见

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-03-20 08:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
XPS 应该是精度最高的吧,但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行,含量太低了。我同意楼上的,设计一个梯度比,增大含量勇EDX 表征,证明你的方法控制含量比较精确。
3楼2014-03-20 15:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

toowowo

铜虫 (正式写手)

低浓度掺杂和高浓度掺杂表现出了不同的性质,正好是低浓度的掺杂是我们所希望的,所以那样依次类推不太合适吧?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-03-21 12:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
5楼2014-03-31 17:41:48
已阅   申请MEPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

刺客yl

铁虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xjian2010 at 2014-03-20 15:55:31
XPS 应该是精度最高的吧,但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行,含量太低了。我同意楼上的,设计一个梯度比,增大含量勇EDX 表征,证明你的方法控制含量比较精确。

XPS测的是键能吧?然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键,那就很难测出来吧?
6楼2014-04-01 14:56:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 刺客yl at 2014-04-01 14:56:01
XPS测的是键能吧?然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键,那就很难测出来吧?...

恩,如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键,的确很难测出来
7楼2014-04-01 21:14:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 toowowo 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂,985材料与化工348分 +3 涵竹刘 2026-04-11 3/150 2026-04-11 14:10 by luhong1990
[考研] 352 求调剂 +5 yzion 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:47 by qingpingzhu
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
[考研] 中药学调剂 初试324 +4 洋甘菊、 2026-04-10 6/300 2026-04-11 09:41 by gong120082
[考研] 070300化学学硕311分求调剂 +17 梁富贵险中求 2026-04-04 19/950 2026-04-11 00:29 by wangjihu
[考研] 一志愿京区985,085401,与本科专业一致,电子信息工程, +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[考研] 362求调剂 +10 我要考大 2026-04-06 14/700 2026-04-10 17:00 by luoyongfeng
[考研] 一志愿211,化学学硕,310分,本科重点双非,求调剂 +27 努力奋斗112 2026-04-07 30/1500 2026-04-10 15:06 by Kilig0317
[考研] 一志愿华东师范生物学326分,求调剂 +8 刘墨墨 2026-04-09 8/400 2026-04-10 12:00 by pengliang8036
[考研] 材料与化工371求调剂 +17 陪琳看海 2026-04-04 18/900 2026-04-10 07:51 by 314126402
[考研] 一志愿中国科学院上海有机所,有机化学356分找调剂 +11 Nadiums 2026-04-09 11/550 2026-04-09 18:04 by lijunpoly
[考研] 337求调剂 +4 Gky09300550, 2026-04-09 4/200 2026-04-09 17:18 by 帕尔马拉特
[硕博家园] 有没有学校材料专业收跨调(一志愿085410) +5 momo(上岸版) 2026-04-06 8/400 2026-04-09 15:07 by only周
[考研] 软件工程求调剂22软工296分求调剂,接受跨调 +4 yangchen2017 2026-04-08 5/250 2026-04-08 21:56 by 土木硕士招生
[考研] 机械工程264学硕求调剂 +3 qiushangxian 2026-04-06 3/150 2026-04-08 01:53 by Linzejun
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级,数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 316求调剂 +7 yyx想调剂 2026-04-05 7/350 2026-04-07 14:31 by shdgaomin
[考研] 机械专硕274求调剂,不挑专业学校 +6 泛泛2333 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:06 by 泛泛2333
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +5 崔wj 2026-04-05 5/250 2026-04-06 15:40 by lin-da
[考研] 341求调剂 +3 学无止境,冲 2026-04-05 3/150 2026-04-05 09:40 by lbsjt
信息提示
请填处理意见