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toowowo

铜虫 (正式写手)

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专业: 材料物理化学

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！已有2人参与

磁控溅射做掺杂，把掺杂物混在靶材里溅射，由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”，xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英，薄膜导电性能不好，薄膜厚度为0.3微米左右，无法剥落，请教了！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼2014-03-20 00:23:29

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刺客yl

铁虫 (正式写手)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by xjian2010 at 2014-03-20 15:55:31
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。

XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？