应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！
51/1返回列表
查看: 1664  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

toowowo

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射做薄膜掺杂，掺杂浓度特底，前来请教测试方法！ 已有2人参与

磁控溅射做掺杂，把掺杂物混在靶材里溅射，由于做出来的薄膜里掺杂量为0.015%“原子数比”，xps都测不出来。所以特来请教什么测试手段可以解决我的问题。薄膜衬底为石英，薄膜导电性能不好，薄膜厚度为0.3微米左右，无法剥落，请教了！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-03-20 00:23:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xjian2010 at 2014-03-20 15:55:31
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。

XPS测的是键能吧？然后推断物质组成。如果杂质跟膜材料组成不统一规则的键，那就很难测出来吧？
赞一下 回复此楼
6楼2014-04-01 14:56:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

gao901127

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是可以提高掺杂浓度。用xps检测。以此类推，可知道低浓度也能掺杂进去？个人意见

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2014-03-20 08:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xjian2010

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
XPS 应该是精度最高的吧，但是定量分析也很难。你这种情况EDX估计也不大行，含量太低了。我同意楼上的，设计一个梯度比，增大含量勇EDX 表征，证明你的方法控制含量比较精确。
赞一下 回复此楼
3楼2014-03-20 15:55:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

toowowo

铜虫 (正式写手)
低浓度掺杂和高浓度掺杂表现出了不同的性质，正好是低浓度的掺杂是我们所希望的，所以那样依次类推不太合适吧？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2014-03-21 12:05:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 C79jjtjAKjEn 2026-09-15 3/150 2026-09-18 03:42 by cITaGg3p5edr
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 C79jjtjAKjEn 2026-09-15 3/150 2026-09-18 03:30 by cITaGg3p5edr
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 mibUvS8DDCwf 2026-09-15 3/150 2026-09-18 03:04 by cITaGg3p5edr
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-15 3/150 2026-09-18 02:40 by cITaGg3p5edr
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-18 02:06 by cITaGg3p5edr
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-18 01:04 by cITaGg3p5edr
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-18 00:28 by cITaGg3p5edr
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 8/400 2026-09-17 23:28 by cuPZTDXS3VOd
[基金申请] 国社科系统bug了，是不是要放榜了？ +5 kynobel 2026-09-16 6/300 2026-09-17 21:37 by tosogo
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 0pYnUiPDfdnk 2026-09-14 4/200 2026-09-17 14:15 by ObVzqQQh1rrE
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-17 13:17 by ObVzqQQh1rrE
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-17 13:15 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-17 12:39 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 6/300 2026-09-17 12:29 by ObVzqQQh1rrE
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-17 04:28 by k06BKNblrGRH
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 6/300 2026-09-17 03:04 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 17:12 by i3KBRD19ERkG
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 07:50 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:46 by C79jjtjAKjEn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭