| 查看: 627 | 回复: 1 | |||
[交流]
如何获得平整度较高的不同后的的Si上SiO2层？ 已有1人参与
|
| 大家好，我需要200nm到600nm约20nm左右间隔的Si上SiO2薄膜，去找硅片厂商热氧化是可以，但是每个厚度都需要独立的氧化，而每个厚度需要的不多，所以成本很高。用磁控溅射可以，但是折射率会和热氧化的不太一致，所以暂时不考虑。我准备用BOE，但是不知道平整度如何？请问大家关于BOE腐蚀方面有没有什么建议？谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有235人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- SiO2中Si-H键的FTIR吸收峰
已经有3人回复
- 请问用SiO2和Al反应制得的Al2O3//Al-Si复合材料选哪一种金相腐蚀液
已经有7人回复
- 请问CVD法长石墨烯为什么不能长在SiO2/Si上？
已经有9人回复
- 急求分子筛中Si/Al比与SiO2/Al2O3比的换算关系
已经有7人回复
- 问一个Cr作模板深刻蚀SiO2和Si的问题
已经有10人回复
- 石墨烯能否在Sio2或Si基体上用化学气相沉积法长成？
已经有7人回复
- 为什么CO2中的C是SP杂化，而SiO2中的Si是SP3杂化？
已经有8人回复
- Pt/Ti/SiO2/Si衬底如何清洗
已经有21人回复
- 【求助】MS如何实现水分子与SiO2反应的分子动力学模拟过程（想得到Si-OH键）？
已经有21人回复
- 【求助】如何清洗SiO2/Si片
已经有5人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-03-07 16:03:18
