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陶瓷片表面溅射银的问题
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木雨涵0407
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MM
专业: 电化学分析
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陶瓷片表面溅射银的问题
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我是做固体电解质的,做出来的是一个陶瓷片,可是为了要测阻抗需要溅射银,之前都是喷金的,老师让试一下溅射银,可是我不清楚里面的一些参数,比如要溅,射多厚的,溅射速率等。不知道谁可以给个参数,或推荐些文献,我没找到具体的资料。我的陶瓷片直径12毫米厚3毫米
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注册: 2011-11-08
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专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
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测一下以前溅射金膜的面电阻率,然后摸索一下多厚的银膜和之前的金膜有相同的面电阻率;合适的厚度除以溅射速率就是溅射时间。
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2014-03-03 01:09:04
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