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爱惜花草

木虫 (著名写手)

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[交流] 薄膜沉积速度与膜质量的关系

物理气相沉积中在膜和基底之间存在一定的应力问题，
比如在基底上镀较厚的金属，
很容易发现最后基底与金属间因应力不匹配形成曲翘。

如何消除这种应力，进而提高薄膜的质量，
以前听人说降低沉积速率，
成膜质量就会高。

但感觉并不一定沉积速率越慢薄膜质量就一定越好。
有的金属似乎必须达到一定的沉积速率方可。
另外消除这种应力的影响降速似乎是反效果。
希望有人一起讨论下。

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1楼 2014-01-09 22:29:05

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爱惜花草

木虫 (著名写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by macaibin at 2014-01-10 09:55:24
翘曲的原因一般有如下3种：
1、衬底和薄膜的晶格匹配度差，薄膜不能很好的附着在衬底上。
2、薄膜和衬底的热膨胀系数差异太大。冷却时导致翘曲或者断裂。
3、薄膜衬底界面应力释放太快。
这三种问题都可以通过更 ...

对，
排除前两种原因，
主要是想针对应力释放，
沉积速率和这个好像关系很大。
主要是想知道这方面的原理。