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用真空溅射多空材料的问题
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浅唱未来
新虫
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
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用真空溅射多空材料的问题
用真空溅射多空材料时,要在多孔材料上面遮上掩体,掩体的边缘与孔洞的边缘的最小距离有什么特定的表达式吗?有没有限定的数值范围?
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1楼
2014-01-08 20:40:34
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浅唱未来
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
亲,主要的问题不在溅射的设备上哦,主要是在掩体与孔间的尺寸的关系。不过还是谢谢你哦
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2楼
2014-01-08 21:31:46
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