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求知着

银虫 (正式写手)

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[交流] 关于XRD薄膜测试的问题

各位大侠，请问，我用XRD测一衬底上的薄膜得出的图谱和直接测衬底得出的图谱的峰位基本一致呢？我所测薄膜厚度大约为1微米，怎么膜上的物质测不出来呢？

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1楼 2014-01-05 19:59:46

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求知着

银虫 (正式写手)

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能不能针对性的帮帮忙，急用！

2楼2014-01-05 20:11:24

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休眠火山

禁虫 (知名作家)

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
求知着: 金币+1 2014-01-06 19:07:48

两种可能，一是你测量薄膜的方式不对，应用薄膜专门的测试方法。二是，你的薄膜非晶

3楼2014-01-06 09:02:15

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求知着

银虫 (正式写手)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 休眠火山 at 2014-01-06 09:02:15
两种可能，一是你测量薄膜的方式不对，应用薄膜专门的测试方法。二是，你的薄膜非晶

谢谢指教，但请问如何判断我的薄膜是否为非晶呢？还有薄膜的专门测试方法有哪些？

4楼2014-01-06 19:07:40

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求知着

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引用回帖:

3楼: Originally posted by 休眠火山 at 2014-01-06 09:02:15
两种可能，一是你测量薄膜的方式不对，应用薄膜专门的测试方法。二是，你的薄膜非晶

谢谢回复，但是请问如何判断我的薄膜是否为非晶？还有薄膜的专门测试方法有哪些？还望不吝赐教！

5楼2014-01-06 19:09:31

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休眠火山

禁虫 (知名作家)

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

薄膜测试需要采用掠入射的设置，入射线与膜平面夹角很小，
如果采用了掠入射的模式而你的信号还是馒头峰，就说明膜是非晶的。

6楼2014-01-06 20:34:45

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