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yelin890219

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 掠入射XRD结果分析

测试一个用不同方法制备的30nm锗薄膜，用普通XRD测出来是一个鼓包，于是改用掠入射XRD测试，但是两种薄膜测试出来除了峰强不一样，半峰宽没什么区别，想问下掠入射XRD测试晶体质量与峰强有关吗？

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1楼 2012-12-17 12:48:03

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fds329

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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yelin890219: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-12-17 15:29:25

XRD测试，一个样品不是一次测的峰强就可能不同的。

2楼2012-12-17 12:53:59

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fds329

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《薄膜结构X射线表征》可以看看

3楼2012-12-17 12:56:13

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来吧

银虫 (正式写手)

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鼓包是怎样的？还有所谓的掠入射是2-theta，还是2-theta/w, 等等？

你是想看epitaxial? amorphos?

那个学校或研究院，希望多多交流！

4楼2013-04-06 20:16:57

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