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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定? 已有3人参与

我的薄膜基底是单晶硅的,膜层是GeSbTe,之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射,打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角,说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查,有人说掠射角是越小越好,
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢?
谢谢!
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liucq2002

木虫 (正式写手)

★ ★
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csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-23 17:34:42
不知楼主做掠入射测试什么信息?如果仅仅是物相的话通常选择低于5度,我通常选择3度。一家之言仅供楼主参考,呵呵
2楼2010-07-23 17:14:17
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bryano

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-27 08:12:08
看膜厚了,角度越小,X-rya穿透深度越小,当然就要求你的膜面积够大了
3楼2010-07-27 08:00:55
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

哦,谢谢楼上两位:)
4楼2010-07-27 11:37:12
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