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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定？
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定？ 已有3人参与

我的薄膜基底是单晶硅的，膜层是GeSbTe，之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射，打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角，说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查，有人说掠射角是越小越好，
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢？
谢谢！
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1楼 2010-07-22 09:15:53
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liucq2002

木虫 (正式写手)
★ ★
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csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-23 17:34:42
不知楼主做掠入射测试什么信息？如果仅仅是物相的话通常选择低于5度，我通常选择3度。一家之言仅供楼主参考，呵呵
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2楼2010-07-23 17:14:17
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bryano

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-27 08:12:08
看膜厚了，角度越小，X-rya穿透深度越小，当然就要求你的膜面积够大了
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3楼2010-07-27 08:00:55
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wuyuy2k

木虫 (小有名气)
哦，谢谢楼上两位：）
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4楼2010-07-27 11:37:12
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