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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 4603.5
散金: 4
帖子: 214
在线: 28.7小时
虫号: 419286
注册: 2007-07-05
性别: GG
专业: 半导体光电子器件

[交流] 【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定？已有3人参与

我的薄膜基底是单晶硅的，膜层是GeSbTe，之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射，打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角，说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查，有人说掠射角是越小越好，
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢？
谢谢！

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1楼2010-07-22 09:15:53

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bryano

木虫 (正式写手)

应助: 51 (初中生)
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红花: 3
帖子: 588
在线: 82.3小时
虫号: 420812
注册: 2007-07-14
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-27 08:12:08

看膜厚了，角度越小，X-rya穿透深度越小，当然就要求你的膜面积够大了

赞一下(2人)

3楼2010-07-27 08:00:55

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