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【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定?
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wuyuy2k
木虫
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应助: 0
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散金: 4
帖子: 214
在线: 28.7小时
虫号: 419286
注册: 2007-07-05
性别: GG
专业: 半导体光电子器件
[交流]
【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定?
已有3人参与
我的薄膜基底是单晶硅的,膜层是GeSbTe,之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射,打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角,说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查,有人说掠射角是越小越好,
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢?
谢谢!
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1楼
2010-07-22 09:15:53
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liucq2002
木虫
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(幼儿园)
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在线: 255小时
虫号: 254708
注册: 2006-05-27
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功
★ ★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖交流
csuhcb2000(金币+1):欢迎交流 2010-07-23 17:34:42
不知楼主做掠入射测试什么信息?如果仅仅是物相的话通常选择低于5度,我通常选择3度。一家之言仅供楼主参考,呵呵
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2楼
2010-07-23 17:14:17
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