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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体光电子器件

[交流] 【求助】XRD薄膜试样的掠射角如何确定？已有3人参与

我的薄膜基底是单晶硅的，膜层是GeSbTe，之前在普通的xrd上做出来的
上想去清华做xrd掠射，打电话问那边的老师说需要自己确定一个掠射角，说是和膜层成分还有厚度有关
我在网上查，有人说掠射角是越小越好，
想问一下大家做薄膜试样掠射角一般是如何确定的呢？
谢谢！

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1楼2010-07-22 09:15:53

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wuyuy2k

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体光电子器件

哦，谢谢楼上两位：）

4楼2010-07-27 11:37:12

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