| 查看: 1339 | 回复: 6 | ||
URHX5454金虫 (小有名气)
|
[求助]
溅射中，如何用等离子轰击清洗基片 已有1人参与
|
| 请问高手们，我之前溅射做了一批样品放了有一年了，但是现在需要用他来继续做实验，感觉放那么久表面应该钝化了吧，所以想说用等离子体轰击一下，但是我们组只有磁控溅射仪，搜了一下，说可以把阴阳极的电源接口换一下，这样Ar离子就会轰击基片了，但是不敢乱动仪器。想说，不动电源，而是将基片放到靶材基座上，这样可行吗？会不会对溅射仪造成伤害？谢谢啦 |
回复此楼» 猜你喜欢
娱乐
已经有6人回复
-
化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？
已经有4人回复
-
关于代码变化问题，想知道的进来
已经有12人回复
-
基金中了
已经有13人回复
-
关于filecode
已经有6人回复
-
固定端突然变了，今天
已经有10人回复
-
听说今天filecode变了
已经有47人回复
-
filecode与中标关系的预测
已经有3人回复
-
filecode变化情况
已经有22人回复
-
十年后又回来了，论文投稿求助
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 氟化镁薄膜制备
已经有3人回复
- 在反应磁控溅射中，如何计算混合气体中的气体偏压？
已经有7人回复
- 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较
已经有16人回复
- 直流等离子体溅射制备金属膜
已经有1人回复
- 玻璃表面清洗？
已经有12人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 直流等离子体溅射法制备复合膜
已经有0人回复
- 不锈钢片 怎么清洗？
已经有4人回复
2楼2013-12-09 09:32:07
URHX5454
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2446.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 105
- 在线: 52.9小时
- 虫号: 881513
- 注册: 2009-10-23
- 性别: MM
- 专业: 光子与光电子器件
3楼2013-12-09 13:24:49
4楼2013-12-09 17:04:22
URHX5454
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2446.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 105
- 在线: 52.9小时
- 虫号: 881513
- 注册: 2009-10-23
- 性别: MM
- 专业: 光子与光电子器件
5楼2013-12-10 13:36:14
陈洁涵
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 873.3
- 散金: 65
- 帖子: 35
- 在线: 17.8小时
- 虫号: 2467683
- 注册: 2013-05-16
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2014-04-12 21:36:27
URHX5454
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2446.1
- 散金: 10
- 红花: 2
- 帖子: 105
- 在线: 52.9小时
- 虫号: 881513
- 注册: 2009-10-23
- 性别: MM
- 专业: 光子与光电子器件
7楼2014-04-17 22:31:31
100