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gaoyyt

木虫 (正式写手)

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专业: 聚合物共混与复合材料

[交流] 用射频溅射如何制备掺杂薄膜？

我想制备掺杂Pt的SnO2气敏薄膜，用氧化锡粉体制备的掺杂靶材效果一般。
有做过相似实验的请指教，如何制备掺杂Pt的Sn靶？如何将Pt的掺杂量控制在1-2%之间？
谢谢！
[search]SnO2薄膜[/search]

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1楼 2007-12-07 08:16:29

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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 金属结构材料

1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射（恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶），通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO2（一定蒸气压的Pt蒸气很难产生，如有电子枪或者有某种合适的易分解的Pt化合物也可以实现）

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2楼2007-12-07 08:31:33

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granular

木虫 (著名写手)

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注册: 2007-11-01
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

把Pt片或条放在SnO2靶上就行了通过改变Pt片数和条数来改变Pt含量

名曰“复合靶”或"马赛克靶"

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3楼2007-12-07 11:42:19

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wesley

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很好，很强大

第二种方法比较好操作

引用回帖:

Originally posted by Tavano at 2007-12-7 08:31:
1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射（恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶），通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO ...

[ Last edited by wesley on 2007-12-7 at 16:50 ]

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4楼2007-12-07 16:48:26

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