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用射频溅射如何制备掺杂薄膜？
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我想制备掺杂Pt的SnO2气敏薄膜，用氧化锡粉体制备的掺杂靶材效果一般。 有做过相似实验的请指教，如何制备掺杂Pt的Sn靶？如何将Pt的掺杂量控制在1-2%之间？ 谢谢！ [search]SnO2薄膜[/search] |
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Tavano
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