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gaoyyt

木虫 (正式写手)

[交流] 用射频溅射如何制备掺杂薄膜?

我想制备掺杂Pt的SnO2气敏薄膜,用氧化锡粉体制备的掺杂靶材效果一般。
有做过相似实验的请指教,如何制备掺杂Pt的Sn靶?如何将Pt的掺杂量控制在1-2%之间?
谢谢!
[search]SnO2薄膜[/search]
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wesley

很好,很强大

第二种方法比较好操作
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2007-12-7 08:31:
1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射(恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶),通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO ...

[ Last edited by wesley on 2007-12-7 at 16:50 ]
4楼2007-12-07 16:48:26
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射(恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶),通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO2(一定蒸气压的Pt蒸气很难产生,如有电子枪或者有某种合适的易分解的Pt化合物也可以实现)
2楼2007-12-07 08:31:33
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granular

木虫 (著名写手)

把Pt片或条放在SnO2靶上就行了 通过改变Pt片数和条数 来改变Pt含量

名曰“复合靶”或"马赛克靶"
3楼2007-12-07 11:42:19
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gaoyyt

木虫 (正式写手)

谢谢Tavano和granular两位同行的指教和帮助!
5楼2007-12-11 07:06:46
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