24小时热门版块排行榜    

查看: 477  |  回复: 5
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

gaoyyt

木虫 (正式写手)

[交流] 用射频溅射如何制备掺杂薄膜?

我想制备掺杂Pt的SnO2气敏薄膜,用氧化锡粉体制备的掺杂靶材效果一般。
有做过相似实验的请指教,如何制备掺杂Pt的Sn靶?如何将Pt的掺杂量控制在1-2%之间?
谢谢!
[search]SnO2薄膜[/search]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gaoyyt

木虫 (正式写手)

谢谢Tavano和granular两位同行的指教和帮助!
5楼2007-12-11 07:06:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射(恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶),通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO2(一定蒸气压的Pt蒸气很难产生,如有电子枪或者有某种合适的易分解的Pt化合物也可以实现)
2楼2007-12-07 08:31:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

granular

木虫 (著名写手)

把Pt片或条放在SnO2靶上就行了 通过改变Pt片数和条数 来改变Pt含量

名曰“复合靶”或"马赛克靶"
3楼2007-12-07 11:42:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wesley

很好,很强大

第二种方法比较好操作
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2007-12-7 08:31:
1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射(恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶),通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO ...

[ Last edited by wesley on 2007-12-7 at 16:50 ]
4楼2007-12-07 16:48:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +12 Tide man 2026-08-10 13/650 2026-08-15 16:34 by 氺木
[考研] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 P4JhWrbJGjSe 2026-08-14 5/250 2026-08-15 15:46 by QXtWNz7PI7wZ
[考博] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 3/150 2026-08-15 12:33 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[考博] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 11:41 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[教师之家] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-14 22:32 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[基金申请] filecode +15 documentary 2026-08-10 17/850 2026-08-14 10:08 by kissu88
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见