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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 用射频溅射如何制备掺杂薄膜？
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gaoyyt

木虫 (正式写手)

[交流] 用射频溅射如何制备掺杂薄膜？

我想制备掺杂Pt的SnO2气敏薄膜，用氧化锡粉体制备的掺杂靶材效果一般。
有做过相似实验的请指教，如何制备掺杂Pt的Sn靶？如何将Pt的掺杂量控制在1-2%之间？
谢谢！
[search]SnO2薄膜[/search]
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1楼 2007-12-07 08:16:29
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射（恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶），通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO2（一定蒸气压的Pt蒸气很难产生，如有电子枪或者有某种合适的易分解的Pt化合物也可以实现）
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2楼2007-12-07 08:31:33
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granular

木虫 (著名写手)
把Pt片或条放在SnO2靶上就行了 通过改变Pt片数和条数 来改变Pt含量

名曰“复合靶”或"马赛克靶"
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3楼2007-12-07 11:42:19
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wesley

很好，很强大

第二种方法比较好操作
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2007-12-7 08:31:
1、Pt粉与SnO2粉或Sn粉混匀后做成靶
2、在Sn靶或SnO2靶上贴一小片Pt做成复合靶
3、Sn靶或SnO2靶与Pt靶双靶共溅射（恐怕不太可能有这么多Pt做成Pt靶），通过调节靶的功率比控制参杂量
4、在Pt蒸气中溅射沉积SnO ...

[ Last edited by wesley on 2007-12-7 at 16:50 ]
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4楼2007-12-07 16:48:26
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gaoyyt

木虫 (正式写手)
谢谢Tavano和granular两位同行的指教和帮助！
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5楼2007-12-11 07:06:46
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金虫 (正式写手)
共溅射

看你的靶在上面还是下面

如果是下面更好办,

把Pt 粉或着很小的片子以同心圆 的形式摆在靶上面
这样比直接放片子的Pt形成的膜均匀度要好的多.

放单片的一般要旋转衬底
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6楼2007-12-11 14:55:06
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