24小时热门版块排行榜    

查看: 3306  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影?要注意什么?曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s,只显影了3um,延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全???
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是娄菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)...

你好,我用这款显影液也不是很好去胶,怎么回事呀,你是怎么配比的呀

发自小木虫IOS客户端
8楼2018-04-17 08:34:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?
2楼2013-10-21 13:00:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?

型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!
3楼2013-10-23 22:38:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?
4楼2013-10-24 15:52:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 0805 316求调剂 +6 大雪深藏 2026-03-18 6/300 2026-03-24 22:13 by peike
[考研] 340求调剂 +4 话梅糖111 2026-03-24 4/200 2026-03-24 21:41 by yuyu98412
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-24 3/150 2026-03-24 21:31 by peike
[考研] 07化学280分求调剂 +6 722865 2026-03-23 6/300 2026-03-24 20:58 by allen-yin
[考研] 0854人工智能方向招收调剂 +3 章小鱼567 2026-03-24 3/150 2026-03-24 19:46 by zhouxuan..
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +10 纸鱼ly 2026-03-21 11/550 2026-03-24 17:22 by qingfeng258
[考研] 070300化学求调剂 +9 苑豆豆 2026-03-20 9/450 2026-03-24 17:15 by licg0208
[考研] 材料292调剂 +8 橘颂思美人 2026-03-23 8/400 2026-03-24 16:33 by laoshidan
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-24 5/250 2026-03-24 15:46 by 星空星月
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-21 6/300 2026-03-24 15:03 by 余意卿
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[考研] 263求调剂 +6 yqdszhdap- 2026-03-22 9/450 2026-03-23 12:57 by yqdszhdap-
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 280求调剂 +11 咕噜晓晓 2026-03-18 12/600 2026-03-21 22:40 by ACS Nano——
[基金申请] 学校已经提交到NSFC,还能修改吗? 40+4 babangida 2026-03-19 9/450 2026-03-21 16:12 by babangida
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] A区线材料学调剂 +5 周周无极 2026-03-20 5/250 2026-03-20 21:33 by laoshidan
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
信息提示
请填处理意见