24小时热门版块排行榜    

查看: 3305  |  回复: 8

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影?要注意什么?曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s,只显影了3um,延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全???
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?
2楼2013-10-21 13:00:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?

型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!
3楼2013-10-23 22:38:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?
4楼2013-10-24 15:52:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-24 15:52:54
即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?...

涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,
5楼2013-10-24 17:13:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
紫炎羊儿: 金币+50, 有帮助 2013-10-25 12:54:35
引用回帖:
5楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-24 17:13:32
涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,...

我熟悉的前烘参数是120度60~90s,热板。你这个胶还比较薄,烘烤时间再减减看。可以考虑减掉一半。
6楼2013-10-24 22:36:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱惜花草

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)
一步一步去实现自己的目标,不要让自己成为自己的绊脚石,克制自己!
7楼2014-08-13 16:42:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是娄菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)...

你好,我用这款显影液也不是很好去胶,怎么回事呀,你是怎么配比的呀

发自小木虫IOS客户端
8楼2018-04-17 08:34:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我是娄菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)...

前烘温度多少合适呀

发自小木虫IOS客户端
9楼2018-04-17 08:44:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 紫炎羊儿 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 086003食品工程求调剂 +5 淼淼111 2026-03-24 5/250 2026-03-24 20:53 by lailaisimei
[考研] 生物学学硕求调剂 +6 小羊睡着了? 2026-03-23 9/450 2026-03-24 20:21 by 小羊睡着了?
[考研] 289求调剂 +8 硕星赴 2026-03-23 8/400 2026-03-24 20:17 by peike
[考研] 一志愿北化315 求调剂 +3 akrrain 2026-03-24 3/150 2026-03-24 19:35 by 了了了了。。
[考研] 材料学硕,求调剂 6+3 糖葫芦888ll 2026-03-22 7/350 2026-03-24 17:11 by hello七七
[材料工程] 一志愿C9材料与化工专业总分300求调剂 +4 曼111 2026-03-24 5/250 2026-03-24 15:44 by 星空星月
[考研] 284求调剂 +10 Zhao anqi 2026-03-22 10/500 2026-03-24 00:08 by Equinoxhua
[考研] 接收2026硕士调剂(学硕+专硕) +4 allen-yin 2026-03-23 6/300 2026-03-23 15:04 by 汪!?!
[考研] 0854电子信息求调剂 324 +3 Promise-jyl 2026-03-23 3/150 2026-03-23 13:43 by wangkm
[考研] 一志愿070300浙大化学358分,求调剂! +4 酥酥鱼.. 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:12 by Iveryant
[考研] 306求调剂 +5 来好运来来来 2026-03-22 5/250 2026-03-22 16:17 by BruceLiu320
[考研] 一志愿中南化学(0703)总分337求调剂 +9 niko- 2026-03-19 10/500 2026-03-22 16:08 by ColorlessPI
[考研] 319求调剂 +4 小力气珂珂 2026-03-20 4/200 2026-03-22 15:53 by ColorlessPI
[考研] 303求调剂 +5 安忆灵 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:46 by 素颜倾城1988
[考研] 求调剂 +7 Auroracx 2026-03-22 7/350 2026-03-22 12:38 by 素颜倾城1988
[考研] 285求调剂 +6 ytter 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:09 by 星空星月
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工 322求调剂 +4 然11 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:12 by luoyongfeng
[考研] 材料学硕297已过四六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-03-19 11/550 2026-03-20 21:30 by laoshidan
[考研] 086500 325 求调剂 +3 领带小熊 2026-03-19 3/150 2026-03-20 18:38 by 尽舜尧1
信息提示
请填处理意见