24小时热门版块排行榜    

查看: 3274  |  回复: 8
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影?要注意什么?曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s,只显影了3um,延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全???
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?

型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!
3楼2013-10-23 22:38:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?
2楼2013-10-21 13:00:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?
4楼2013-10-24 15:52:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-24 15:52:54
即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?...

涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,
5楼2013-10-24 17:13:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +4 Soliloquy_Q 2026-02-28 5/250 2026-02-28 22:49 by 布什戈们
[考研] 化工专硕348,一志愿985求调剂 +4 弗格个 2026-02-28 6/300 2026-02-28 22:00 by wang_dand
[考研] 304求调剂 +3 52hz~~ 2026-02-28 4/200 2026-02-28 21:41 by gaoxiaoniuma
[考研] 264求调剂 +3 巴拉巴拉根556 2026-02-28 3/150 2026-02-28 21:31 by gaoxiaoniuma
[考研] 311求调剂 +8 南迦720 2026-02-28 8/400 2026-02-28 21:30 by gaoxiaoniuma
[考研] 高分子化学与物理调剂 +4 好好好1233 2026-02-28 7/350 2026-02-28 20:42 by 好好好1233
[考研] 298求调剂 +8 人间唯你是清欢 2026-02-28 11/550 2026-02-28 20:26 by L135790
[基金申请] 面上模板改不了页边距吧? +5 ieewxg 2026-02-25 5/250 2026-02-28 20:11 by iwuli
[考研] 276求调剂 +3 路lyh123 2026-02-28 4/200 2026-02-28 19:45 by 路lyh123
[考博] 博士推荐 +5 花儿笑? 2026-02-21 6/300 2026-02-28 18:53 by nxgogo
[考研] 285求调剂 +5 满头大汗的学生 2026-02-28 5/250 2026-02-28 18:10 by 材料专硕调剂;
[考研] 材料调剂 +3 爱擦汗的可乐冰 2026-02-28 3/150 2026-02-28 18:06 by houyaoxu
[考博] 博士自荐 +3 kkluvs 2026-02-28 3/150 2026-02-28 16:59 by StarAura
[高分子] 求环氧树脂研发1名 +3 孙xc 2026-02-25 11/550 2026-02-28 16:57 by ichall
[考研] 265分求调剂不调专业和学校有行学上就 +4 礼堂丁真258 2026-02-28 6/300 2026-02-28 16:18 by 求调剂zz
[考研] 0856调剂 +3 刘梦微 2026-02-28 3/150 2026-02-28 13:22 by houyaoxu
[考研] 寻找调剂 +3 LYidhsjabdj 2026-02-28 3/150 2026-02-28 12:59 by miniwendy
[硕博家园] 博士自荐 +6 科研狗111 2026-02-26 9/450 2026-02-28 12:32 by seaskyy
[基金申请] 面上可以超过30页吧? +12 阿拉贡aragon 2026-02-22 13/650 2026-02-26 22:09 by Hahaxia
[硕博家园] 【博士招生】太原理工大学2026化工博士 +4 N1ce_try 2026-02-24 8/400 2026-02-26 08:40 by N1ce_try
信息提示
请填处理意见