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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影?要注意什么?曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s,只显影了3um,延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全???
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?

型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!
3楼2013-10-23 22:38:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?
2楼2013-10-21 13:00:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?
4楼2013-10-24 15:52:54
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-24 15:52:54
即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?...

涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,
5楼2013-10-24 17:13:32
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