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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ4620显影问题
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影？要注意什么？曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s，只显影了3um，延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全？？？
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1楼 2013-10-18 23:17:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强？
2. 显影液用的啥？
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2楼2013-10-21 13:00:56
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强？
2. 显影液用的啥？

型号：Karlsuss MA6/BA6　光刻键合对准机
显影液：RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈！！！
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3楼2013-10-23 22:38:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号：Karlsuss MA6/BA6　光刻键合对准机
显影液：RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈！！！...

即使是光强比较弱的情况下，曝光时间也应该够了。显影液也是可以的，最多就是profile不好而已。
所以，很可能你的前烘时间太长了，胶太硬，显影显不动。你的前烘条件是什么？
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4楼2013-10-24 15:52:54
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-24 15:52:54
即使是光强比较弱的情况下，曝光时间也应该够了。显影液也是可以的，最多就是profile不好而已。
所以，很可能你的前烘时间太长了，胶太硬，显影显不动。你的前烘条件是什么？...

涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm，60s。
96度热板前烘5min,
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5楼2013-10-24 17:13:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
紫炎羊儿: 金币+50, ★有帮助 2013-10-25 12:54:35
引用回帖:
5楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-24 17:13:32
涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm，60s。
96度热板前烘5min,...

我熟悉的前烘参数是120度60～90s，热板。你这个胶还比较薄，烘烤时间再减减看。可以考虑减掉一半。
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6楼2013-10-24 22:36:51
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爱惜花草

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号：Karlsuss MA6/BA6　光刻键合对准机
显影液：RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈！！！...

AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的，建议试试其它显影液比如AZ400K（我就是用这款显影液来显影AZ4620）
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一步一步去实现自己的目标，不要让自己成为自己的绊脚石，克制自己！
7楼2014-08-13 16:42:24
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我是娄菁

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的，建议试试其它显影液比如AZ400K（我就是用这款显影液来显影AZ4620）...

你好，我用这款显影液也不是很好去胶，怎么回事呀，你是怎么配比的呀

发自小木虫IOS客户端
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8楼2018-04-17 08:34:12
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我是娄菁

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的，建议试试其它显影液比如AZ400K（我就是用这款显影液来显影AZ4620）...

前烘温度多少合适呀

发自小木虫IOS客户端
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9楼2018-04-17 08:44:27
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