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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620显影问题

AZ4620如何显影?要注意什么?曝光了45s,胶厚5um,但是显影了140s,只显影了3um,延长显影时间也没有用。求助各位虫友如何显影完全???
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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?
2楼2013-10-21 13:00:56
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-21 13:00:56
1. 光刻机型号和光强?
2. 显影液用的啥?

型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!
3楼2013-10-23 22:38:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?
4楼2013-10-24 15:52:54
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-10-24 15:52:54
即使是光强比较弱的情况下,曝光时间也应该够了。显影液也是可以的,最多就是profile不好而已。
所以,很可能你的前烘时间太长了,胶太硬,显影显不动。你的前烘条件是什么?...

涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,
5楼2013-10-24 17:13:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

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紫炎羊儿: 金币+50, 有帮助 2013-10-25 12:54:35
引用回帖:
5楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-24 17:13:32
涂胶参数1:1300rpm,6s;参数2:4000rpm,60s。
96度热板前烘5min,...

我熟悉的前烘参数是120度60~90s,热板。你这个胶还比较薄,烘烤时间再减减看。可以考虑减掉一半。
6楼2013-10-24 22:36:51
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爱惜花草

木虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-10-23 22:38:25
型号:Karlsuss MA6/BA6 光刻键合对准机
显影液:RZX-3038
光强不太清楚。望大牛给与解答。
谢谢哈!!!...

AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)
一步一步去实现自己的目标,不要让自己成为自己的绊脚石,克制自己!
7楼2014-08-13 16:42:24
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我是娄菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)...

你好,我用这款显影液也不是很好去胶,怎么回事呀,你是怎么配比的呀

发自小木虫IOS客户端
8楼2018-04-17 08:34:12
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我是娄菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 爱惜花草 at 2014-08-13 16:42:24
AZ4620这款光刻胶使用3308这款显影液是不太合适的,建议试试其它显影液比如AZ400K(我就是用这款显影液来显影AZ4620)...

前烘温度多少合适呀

发自小木虫IOS客户端
9楼2018-04-17 08:44:27
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