| 查看: 3868 | 回复: 19 | |||
[求助]
HF酸洗Si片的问题
|
|||
| 大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。 |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有90人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助
已经有8人回复
- 【请教】硅片的清洗
已经有59人回复
- 【请教】硅片清洗后如何保存
已经有17人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
5楼2013-09-27 19:30:50
lzb7758520
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 55 (初中生)
- 金币: 6616.9
- 散金: 5481
- 红花: 15
- 帖子: 2457
- 在线: 933小时
- 虫号: 386271
- 注册: 2007-05-29
- 性别: GG
- 专业: 无机合成和制备化学
8楼2013-09-29 08:28:48
10楼2013-09-29 09:24:41
conanzzz
木虫 (正式写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 4633.5
- 散金: 248
- 红花: 5
- 帖子: 524
- 在线: 383小时
- 虫号: 818114
- 注册: 2009-07-29
- 专业: 细胞生物学研究中的新方法
2楼2013-09-26 10:30:18
3楼2013-09-26 14:31:42
conanzzz
木虫 (正式写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 4633.5
- 散金: 248
- 红花: 5
- 帖子: 524
- 在线: 383小时
- 虫号: 818114
- 注册: 2009-07-29
- 专业: 细胞生物学研究中的新方法
4楼2013-09-27 10:32:37
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
6楼2013-09-27 19:35:32
conanzzz
木虫 (正式写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 4633.5
- 散金: 248
- 红花: 5
- 帖子: 524
- 在线: 383小时
- 虫号: 818114
- 注册: 2009-07-29
- 专业: 细胞生物学研究中的新方法
7楼2013-09-28 17:34:29
9楼2013-09-29 09:21:21
投票:
30