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HF酸洗Si片的问题
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| 大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。 |
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