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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » HF酸洗Si片的问题
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爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。
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1楼 2013-09-26 10:12:45
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
HF酸跟二氧化硅反正很快，跟硅反应很慢的，我曾经做过20%的氢氟酸去除二氧化硅，在10分钟内HF使得硅片更平滑
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梦想不能当饭吃啊
8楼2013-09-29 08:28:48
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conanzzz

木虫 (正式写手)
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~
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2楼2013-09-26 10:30:18
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爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-26 10:30:18
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~

我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？
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3楼2013-09-26 14:31:42
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conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-09-26 14:31:42
我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？...

这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~
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4楼2013-09-27 10:32:37
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