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爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸?清洗多长时间?具体讲讲清洗方法,我们是想去除Si表面的SiO2,但是又怕对Si基底造成损伤,使Si表面不平整。
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
HF酸跟二氧化硅反正很快,跟硅反应很慢的,我曾经做过20%的氢氟酸去除二氧化硅,在10分钟内HF使得硅片更平滑
梦想不能当饭吃啊
8楼2013-09-29 08:28:48
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