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爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。
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1楼 2013-09-26 10:12:45
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这要看Si表面的是原生氧化层还是生长的氧化层，也就是说要看氧化层的厚度。前者时间很短，一分钟足够，HF也不用太浓。如果是后者，要根据厚度计算时间。
HF腐蚀硅的速率极慢，不用考虑对硅的平整度影响。
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5楼2013-09-27 19:30:50
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
HF酸跟二氧化硅反正很快，跟硅反应很慢的，我曾经做过20%的氢氟酸去除二氧化硅，在10分钟内HF使得硅片更平滑
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梦想不能当饭吃啊
8楼2013-09-29 08:28:48
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爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-27 19:30:50
这要看Si表面的是原生氧化层还是生长的氧化层，也就是说要看氧化层的厚度。前者时间很短，一分钟足够，HF也不用太浓。如果是后者，要根据厚度计算时间。
HF腐蚀硅的速率极慢，不用考虑对硅的平整度影响。

我们是在中镜科仪买的硅片，怀疑上面有原生的氧化层，也不知道厚度是多少，到底有没有。如果用5%的HF酸浸泡2分钟行不行啊？
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10楼2013-09-29 09:24:41
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普通回帖

conanzzz

木虫 (正式写手)
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~
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2楼2013-09-26 10:30:18
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爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-26 10:30:18
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~

我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？
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3楼2013-09-26 14:31:42
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conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-09-26 14:31:42
我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？...

这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~
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4楼2013-09-27 10:32:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-27 10:32:37
这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~...

各地都有专门的废液处理公司。
注意千万不要想着自己中和，反应剧烈会很危险。HF自行处理排放是很缺德的事儿。
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6楼2013-09-27 19:35:32
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conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-27 19:35:32
各地都有专门的废液处理公司。
注意千万不要想着自己中和，反应剧烈会很危险。HF自行处理排放是很缺德的事儿。...

所以至今没敢动~
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7楼2013-09-28 17:34:29
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爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-28 17:34:29
所以至今没敢动~...

那就留着吧，万一哪天还要用呢~
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9楼2013-09-29 09:21:21
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