应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » HF酸洗Si片的问题
201/2返回列表12下一页
查看: 3812  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-09-26 10:12:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这要看Si表面的是原生氧化层还是生长的氧化层，也就是说要看氧化层的厚度。前者时间很短，一分钟足够，HF也不用太浓。如果是后者，要根据厚度计算时间。
HF腐蚀硅的速率极慢，不用考虑对硅的平整度影响。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2013-09-27 19:30:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
HF酸跟二氧化硅反正很快，跟硅反应很慢的，我曾经做过20%的氢氟酸去除二氧化硅，在10分钟内HF使得硅片更平滑
赞一下(1人) 回复此楼
梦想不能当饭吃啊
8楼2013-09-29 08:28:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-27 19:30:50
这要看Si表面的是原生氧化层还是生长的氧化层，也就是说要看氧化层的厚度。前者时间很短，一分钟足够，HF也不用太浓。如果是后者，要根据厚度计算时间。
HF腐蚀硅的速率极慢，不用考虑对硅的平整度影响。

我们是在中镜科仪买的硅片，怀疑上面有原生的氧化层，也不知道厚度是多少，到底有没有。如果用5%的HF酸浸泡2分钟行不行啊？
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2013-09-29 09:24:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

conanzzz

木虫 (正式写手)
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~
赞一下 回复此楼
2楼2013-09-26 10:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-26 10:30:18
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~

我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-26 14:31:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-09-26 14:31:42
我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？...

这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~
赞一下 回复此楼
4楼2013-09-27 10:32:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-27 10:32:37
这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~...

各地都有专门的废液处理公司。
注意千万不要想着自己中和，反应剧烈会很危险。HF自行处理排放是很缺德的事儿。
赞一下 回复此楼
6楼2013-09-27 19:35:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-27 19:35:32
各地都有专门的废液处理公司。
注意千万不要想着自己中和，反应剧烈会很危险。HF自行处理排放是很缺德的事儿。...

所以至今没敢动~
赞一下 回复此楼
7楼2013-09-28 17:34:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-28 17:34:29
所以至今没敢动~...

那就留着吧，万一哪天还要用呢~
赞一下 回复此楼
9楼2013-09-29 09:21:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 爱米Amy 的主题更新
201/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于豆爷回答的JTJC与%2F数量 +5 yang182083 2026-08-06 7/350 2026-08-08 18:29 by zhanghaozhu
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3 布布和一二 2026-08-08 3/150 2026-08-08 18:15 by Lightingo
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:22 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 17:02 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 5/250 2026-08-08 15:59 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +5 布布和一二 2026-08-08 8/400 2026-08-08 14:54 by archvillain
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:42 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:27 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:22 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 3/150 2026-08-08 03:47 by 6vVgjDL4CnGu
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 听说今天filecode变了 +24 布布和一二 2026-08-06 47/2350 2026-08-07 16:02 by zhiyanjiang
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 影响面上的因素 +8 布布和一二 2026-08-05 11/550 2026-08-06 10:41 by 宝贝虫子
[基金申请] 有没有H口的？有收到消息的吗？ +3 超级海虾 2026-08-04 3/150 2026-08-04 17:26 by 学教育滴
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭