应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » HF酸洗Si片的问题
51/1返回列表
查看: 3833  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸？清洗多长时间？具体讲讲清洗方法，我们是想去除Si表面的SiO2，但是又怕对Si基底造成损伤，使Si表面不平整。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-09-26 10:12:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-27 19:30:50
这要看Si表面的是原生氧化层还是生长的氧化层，也就是说要看氧化层的厚度。前者时间很短，一分钟足够，HF也不用太浓。如果是后者，要根据厚度计算时间。
HF腐蚀硅的速率极慢，不用考虑对硅的平整度影响。

我们是在中镜科仪买的硅片，怀疑上面有原生的氧化层，也不知道厚度是多少，到底有没有。如果用5%的HF酸浸泡2分钟行不行啊？
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2013-09-29 09:24:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

conanzzz

木虫 (正式写手)
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~
赞一下 回复此楼
2楼2013-09-26 10:30:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

爱米Amy

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-26 10:30:18
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~

我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-26 14:31:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

conanzzz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-09-26 14:31:42
我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗？...

这样啊...我们不是酸洗液，是之前有人遗留下来了HF没处理，搞得我们不知道怎么办~
赞一下 回复此楼
4楼2013-09-27 10:32:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +8 archvillain 2026-08-15 15/750 2026-08-15 16:23 by 医学老男孩
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +27 医学老男孩 2026-08-13 58/2900 2026-08-15 15:57 by GZUZM
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 3/150 2026-08-15 14:53 by QXtWNz7PI7wZ
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +7 majunge000 2026-08-11 9/450 2026-08-15 13:34 by kiz2011
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 3/150 2026-08-15 12:33 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 11:41 by KxMI1BYBxWX1
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 7lpolszZVXgi 2026-08-14 6/300 2026-08-15 09:28 by sunzitan
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 4/200 2026-08-15 04:17 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +11 Tide man 2026-08-10 12/600 2026-08-15 02:12 by home3163
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[基金申请] FileCode能看出啥？ +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭