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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 离子注入效果检验？
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 离子注入效果检验？

我在半导体所做过两次离子注入。做了两次，现在对材料进行刻蚀，但是总是达不到效果。
所以想对材料进行一下检验，对离子注入的剂量和能量等参数进行一下检验。
不知道用什么方法可以进行检验？
谢谢
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1楼 2013-09-15 15:19:29
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smnh210

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+5, ★有帮助, 我查了查你提到的检测手段，很有帮助，谢谢。 2013-09-16 12:34:56
SIMS测试就可以了         
或者ECV
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2楼2013-09-16 11:15:09
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seameetland

铁虫 (初入文坛)
楼主测试了吗？能量和剂量对吗？有没有注入进另一种同质荷比的元素？？？
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3楼2013-09-24 15:28:11
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
3楼: Originally posted by seameetland at 2013-09-24 15:28:11
楼主测试了吗？能量和剂量对吗？有没有注入进另一种同质荷比的元素？？？

没有测试。我老板觉得没问题。然后我就搁下了。
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4楼2013-09-24 16:52:28
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by smnh210 at 2013-09-16 11:15:09
SIMS测试就可以了         
或者ECV

你好，我想咨询一下。SIMS和ECV对非半导体材料能检测吗？我们的样品是晶体材料，是不导电的，可能没法进行载流子检测。
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5楼2013-09-24 22:07:38
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