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wj0702114081金虫 (正式写手)
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离子注入效果检验？
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我在半导体所做过两次离子注入。做了两次，现在对材料进行刻蚀，但是总是达不到效果。 所以想对材料进行一下检验，对离子注入的剂量和能量等参数进行一下检验。 不知道用什么方法可以进行检验？ 谢谢 |
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