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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 离子注入效果检验?

我在半导体所做过两次离子注入。做了两次,现在对材料进行刻蚀,但是总是达不到效果。
所以想对材料进行一下检验,对离子注入的剂量和能量等参数进行一下检验。
不知道用什么方法可以进行检验?
谢谢
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smnh210

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wj0702114081: 金币+5, 有帮助, 我查了查你提到的检测手段,很有帮助,谢谢。 2013-09-16 12:34:56
SIMS测试就可以了         
或者ECV
2楼2013-09-16 11:15:09
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seameetland

铁虫 (初入文坛)

楼主测试了吗?能量和剂量对吗?有没有注入进另一种同质荷比的元素???
3楼2013-09-24 15:28:11
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:
3楼: Originally posted by seameetland at 2013-09-24 15:28:11
楼主测试了吗?能量和剂量对吗?有没有注入进另一种同质荷比的元素???

没有测试。我老板觉得没问题。然后我就搁下了。
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
4楼2013-09-24 16:52:28
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:
2楼: Originally posted by smnh210 at 2013-09-16 11:15:09
SIMS测试就可以了         
或者ECV

你好,我想咨询一下。SIMS和ECV对非半导体材料能检测吗?我们的样品是晶体材料,是不导电的,可能没法进行载流子检测。
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
5楼2013-09-24 22:07:38
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