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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 四探针测薄膜电阻
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)

[求助] 四探针测薄膜电阻 已有1人参与

薄膜太薄，＜50nm，可以用四探针法测其电阻率吗？
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1楼 2013-09-09 08:42:33
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bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜不是很软的就可以，选圆形针尖那种探针头不破坏表面
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www.qiushan-tech.com
10楼2022-10-01 11:49:04
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曦语ing

金虫 (小有名气)
可以先测方块电阻，然后换算成电阻率
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2楼2013-09-09 08:52:35
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 曦语ing at 2013-09-09 08:52:35
可以先测方块电阻，然后换算成电阻率

谢谢；什么是方块电阻，怎么测呢？
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3楼2013-09-09 10:48:57
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曦语ing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangpeng5798 at 2013-09-09 10:48:57
谢谢；什么是方块电阻，怎么测呢？...

是表征薄膜电阻的一种，四探针上应该有相关测试说明
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4楼2013-09-09 13:41:35
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