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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)

[求助] 四探针测薄膜电阻 已有1人参与

薄膜太薄,<50nm,可以用四探针法测其电阻率吗?
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曦语ing

金虫 (小有名气)

可以先测方块电阻,然后换算成电阻率
2楼2013-09-09 08:52:35
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 曦语ing at 2013-09-09 08:52:35
可以先测方块电阻,然后换算成电阻率

谢谢;什么是方块电阻,怎么测呢?
3楼2013-09-09 10:48:57
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曦语ing

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yangpeng5798 at 2013-09-09 10:48:57
谢谢;什么是方块电阻,怎么测呢?...

是表征薄膜电阻的一种,四探针上应该有相关测试说明
4楼2013-09-09 13:41:35
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longbowhe

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
yangpeng5798: 金币+1 2013-09-26 09:24:45
薄膜小于50nm很正常.只要薄膜能具有连续结构就行
5楼2013-09-09 15:29:26
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by longbowhe at 2013-09-09 15:29:26
薄膜小于50nm很正常.只要薄膜能具有连续结构就行

请问你是如何操作呢?我之前找人做了一次,那四探针是自动进针的,在样品上扎的很深,把硅片都扎出洞了啊
6楼2013-09-09 15:35:45
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tarowang

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有那种很小的吧,我们公司就用那种很小的四探针测方块电阻的。四个探针一排
7楼2013-09-10 14:26:45
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yangpeng5798: 金币+2 2013-09-11 21:29:55
yangpeng5798: 金币+1 2013-09-26 09:25:38
应该可以,不要把针扎到薄膜太深,只能测方阻,而且薄膜的方阻过大是测不出来的
我~心~依~旧
8楼2013-09-11 10:44:04
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玖辛奈

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by tarowang at 2013-09-10 14:26:45
有那种很小的吧,我们公司就用那种很小的四探针测方块电阻的。四个探针一排

请问您那个电极怎么做的?

发自小木虫Android客户端
9楼2016-03-02 15:54:00
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bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜不是很软的就可以,选圆形针尖那种探针头不破坏表面
www.qiushan-tech.com
10楼2022-10-01 11:49:04
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