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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 四探针测薄膜电阻
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)

[求助] 四探针测薄膜电阻 已有1人参与

薄膜太薄，＜50nm，可以用四探针法测其电阻率吗？
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1楼 2013-09-09 08:42:33
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曦语ing

金虫 (小有名气)
可以先测方块电阻，然后换算成电阻率
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2楼2013-09-09 08:52:35
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 曦语ing at 2013-09-09 08:52:35
可以先测方块电阻，然后换算成电阻率

谢谢；什么是方块电阻，怎么测呢？
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3楼2013-09-09 10:48:57
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曦语ing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangpeng5798 at 2013-09-09 10:48:57
谢谢；什么是方块电阻，怎么测呢？...

是表征薄膜电阻的一种，四探针上应该有相关测试说明
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4楼2013-09-09 13:41:35
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longbowhe

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yangpeng5798: 金币+1 2013-09-26 09:24:45
薄膜小于50nm很正常.只要薄膜能具有连续结构就行
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5楼2013-09-09 15:29:26
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yangpeng5798

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by longbowhe at 2013-09-09 15:29:26
薄膜小于50nm很正常.只要薄膜能具有连续结构就行

请问你是如何操作呢？我之前找人做了一次，那四探针是自动进针的，在样品上扎的很深，把硅片都扎出洞了啊
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6楼2013-09-09 15:35:45
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tarowang

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有那种很小的吧，我们公司就用那种很小的四探针测方块电阻的。四个探针一排
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7楼2013-09-10 14:26:45
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
yangpeng5798: 金币+2 2013-09-11 21:29:55
yangpeng5798: 金币+1 2013-09-26 09:25:38
应该可以，不要把针扎到薄膜太深，只能测方阻，而且薄膜的方阻过大是测不出来的
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我~心~依~旧
8楼2013-09-11 10:44:04
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玖辛奈

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by tarowang at 2013-09-10 14:26:45
有那种很小的吧，我们公司就用那种很小的四探针测方块电阻的。四个探针一排

请问您那个电极怎么做的？

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9楼2016-03-02 15:54:00
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bluegenes

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜不是很软的就可以，选圆形针尖那种探针头不破坏表面
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www.qiushan-tech.com
10楼2022-10-01 11:49:04
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