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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石墨烯薄膜怎么刻蚀
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗？用的是什么刻蚀方法？光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗
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1楼 2013-08-29 16:22:12
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

fractcloud

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
plasm打就能打掉graphene.至于具体的工艺，可以先用普通的胶试试。
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2楼2013-08-29 18:54:56
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jiudushishu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个要看你石墨烯的制备方法，如果是Cu上CVD法再转移的，光刻胶影响很大，直接决定了你制作材料的N/P类型，如果是SiC热分解的，影响不大
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酒读诗书
6楼2013-08-31 10:11:48
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普通回帖

蒋圣伟

铁虫 (正式写手)
你说的是氧等离子体刻蚀吧，刻蚀石墨烯需要具体工艺参数吗
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3楼2013-08-29 19:03:28
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 广告贴 2013-08-30 13:19:45
本帖内容被屏蔽
4楼2013-08-29 19:23:07
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)
你们有谁做过氧等离子体刻蚀？我选择的光刻胶是AZ5214，对刻蚀影响怎样？
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5楼2013-08-30 10:37:58
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)
是Cu上CVD法再转移的，一般选用什么光刻胶呢
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7楼2013-09-01 16:32:48
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Off_side

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jiudushishu at 2013-08-31 10:11:48
这个要看你石墨烯的制备方法，如果是Cu上CVD法再转移的，光刻胶影响很大，直接决定了你制作材料的N/P类型，如果是SiC热分解的，影响不大

一般采用什么光刻胶呢？
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8楼2014-07-25 16:49:31
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Vimon

铜虫 (正式写手)
目前也在摸索，目测PMMA可以。
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9楼2015-11-06 14:20:36
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遇刊少年

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 蒋圣伟 at 2013-09-01 16:32:48
是Cu上CVD法再转移的，一般选用什么光刻胶呢

楼主还在吗？我用RIE刻蚀石墨烯，用胶AZ5214不行啊，氧等离子体打到胶后，感觉胶变性了，用丙酮死活去不掉。请问楼主怎么刻蚀的？

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10楼2016-12-27 09:19:26
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