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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗?用的是什么刻蚀方法?光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗
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fractcloud

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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plasm打就能打掉graphene.至于具体的工艺,可以先用普通的胶试试。
2楼2013-08-29 18:54:56
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jiudushishu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个要看你石墨烯的制备方法,如果是Cu上CVD法再转移的,光刻胶影响很大,直接决定了你制作材料的N/P类型,如果是SiC热分解的,影响不大
酒读诗书
6楼2013-08-31 10:11:48
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普通回帖

蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

你说的是氧等离子体刻蚀吧,刻蚀石墨烯需要具体工艺参数吗
3楼2013-08-29 19:03:28
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★
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kunpeng1782: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 广告贴 2013-08-30 13:19:45
本帖内容被屏蔽

4楼2013-08-29 19:23:07
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

你们有谁做过氧等离子体刻蚀?我选择的光刻胶是AZ5214,对刻蚀影响怎样?
5楼2013-08-30 10:37:58
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

是Cu上CVD法再转移的,一般选用什么光刻胶呢
7楼2013-09-01 16:32:48
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Off_side

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by jiudushishu at 2013-08-31 10:11:48
这个要看你石墨烯的制备方法,如果是Cu上CVD法再转移的,光刻胶影响很大,直接决定了你制作材料的N/P类型,如果是SiC热分解的,影响不大

一般采用什么光刻胶呢?
8楼2014-07-25 16:49:31
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Vimon

铜虫 (正式写手)

目前也在摸索,目测PMMA可以。
9楼2015-11-06 14:20:36
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遇刊少年

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 蒋圣伟 at 2013-09-01 16:32:48
是Cu上CVD法再转移的,一般选用什么光刻胶呢

楼主还在吗?我用RIE刻蚀石墨烯,用胶AZ5214不行啊,氧等离子体打到胶后,感觉胶变性了,用丙酮死活去不掉。请问楼主怎么刻蚀的?

发自小木虫Android客户端
10楼2016-12-27 09:19:26
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