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phelix

铜虫 (小有名气)

我就是用RIE,胶和你一样,采用氧气进行刻。因为选择比不同,胶做厚了点就行了。刻蚀后形貌很不错,陡直度很高。注意氧气流量和功率大小即可。

发自小木虫Android客户端
11楼2016-12-27 10:24:30
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speedangle

金虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by 遇刊少年 at 2016-12-27 09:19:26
楼主还在吗?我用RIE刻蚀石墨烯,用胶AZ5214不行啊,氧等离子体打到胶后,感觉胶变性了,用丙酮死活去不掉。请问楼主怎么刻蚀的?
...

想问下你么现在该问题解决了吗
12楼2021-04-25 22:52:54
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bobo201266

金虫 (正式写手)

氧气略微打一下就行
13楼2021-04-26 14:26:43
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