石墨烯薄膜怎么刻蚀 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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铜虫 (小有名气)

我就是用RIE，胶和你一样，采用氧气进行刻。因为选择比不同，胶做厚了点就行了。刻蚀后形貌很不错，陡直度很高。注意氧气流量和功率大小即可。

发自小木虫Android客户端

11楼2016-12-27 10:24:30

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金虫 (小有名气)

引用回帖:

10楼: Originally posted by 遇刊少年 at 2016-12-27 09:19:26
楼主还在吗？我用RIE刻蚀石墨烯，用胶AZ5214不行啊，氧等离子体打到胶后，感觉胶变性了，用丙酮死活去不掉。请问楼主怎么刻蚀的？
...

想问下你么现在该问题解决了吗

12楼2021-04-25 22:52:54

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金虫 (正式写手)

氧气略微打一下就行

13楼2021-04-26 14:26:43

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