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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 石墨烯薄膜怎么刻蚀
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗？用的是什么刻蚀方法？光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗
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1楼 2013-08-29 16:22:12
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phelix

铜虫 (小有名气)
我就是用RIE，胶和你一样，采用氧气进行刻。因为选择比不同，胶做厚了点就行了。刻蚀后形貌很不错，陡直度很高。注意氧气流量和功率大小即可。

发自小木虫Android客户端
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11楼2016-12-27 10:24:30
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fractcloud

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
plasm打就能打掉graphene.至于具体的工艺，可以先用普通的胶试试。
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2楼2013-08-29 18:54:56
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)
你说的是氧等离子体刻蚀吧，刻蚀石墨烯需要具体工艺参数吗
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3楼2013-08-29 19:03:28
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 广告贴 2013-08-30 13:19:45
本帖内容被屏蔽
4楼2013-08-29 19:23:07
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