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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

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[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗？用的是什么刻蚀方法？光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗

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1楼 2013-08-29 16:22:12

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phelix

铜虫 (小有名气)

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专业: 基础物理学

我就是用RIE，胶和你一样，采用氧气进行刻。因为选择比不同，胶做厚了点就行了。刻蚀后形貌很不错，陡直度很高。注意氧气流量和功率大小即可。

发自小木虫Android客户端

11楼2016-12-27 10:24:30

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