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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗?用的是什么刻蚀方法?光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kunpeng1782: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 广告贴 2013-08-30 13:19:45
本帖内容被屏蔽

4楼2013-08-29 19:23:07
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查看全部 13 个回答

fractcloud

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
plasm打就能打掉graphene.至于具体的工艺,可以先用普通的胶试试。
2楼2013-08-29 18:54:56
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

你说的是氧等离子体刻蚀吧,刻蚀石墨烯需要具体工艺参数吗
3楼2013-08-29 19:03:28
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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

你们有谁做过氧等离子体刻蚀?我选择的光刻胶是AZ5214,对刻蚀影响怎样?
5楼2013-08-30 10:37:58
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