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蒋圣伟

铁虫 (正式写手)

[求助] 石墨烯薄膜怎么刻蚀

有人做过石墨烯薄膜刻蚀吗？用的是什么刻蚀方法？光刻胶的选择对刻蚀的影响大吗
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1楼 2013-08-29 16:22:12
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Off_side

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jiudushishu at 2013-08-31 10:11:48
这个要看你石墨烯的制备方法，如果是Cu上CVD法再转移的，光刻胶影响很大，直接决定了你制作材料的N/P类型，如果是SiC热分解的，影响不大

一般采用什么光刻胶呢？
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8楼2014-07-25 16:49:31
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