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xiaoya605金虫 (正式写手)
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[求助]
求解两种方法的差别
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| 我看到文献中提到CVD和CVT两种方法，一个是deposition,一个是transportation，请问两种方法具体有什么差别？我看方法介绍基本是一样的啊 |
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xhtangxh
木虫 (著名写手)
有木有虫
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
xiaoya605: 金币+20, ★★★很有帮助, 谢谢 2013-10-20 22:43:13
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蒸气化学沉积法(Chemical Vapor Deposition, CVD)是利用热能、等离子体放电或紫外光照射等形式的能源，使物质气化后在固体表面发生化学反应，并在表面沉积形成稳定固态粒子或生长成膜的一种特殊的材料合成方法，可以按沉积物生成方式利用的反应类型分为热分解反应法、化学合成反应法和化学气相输运法。 化学气相输运法(Chemical Vapor Transportation, CVT)以目标沉积物作为反应源物质，借助适当的气体介质与之反应形成一种气态化合物，通过流动的气体介质或载气将其输运到与源区温度不同的沉积区，然后再利用逆反应，使反应源物质重新沉积出来，是CVD方法中的一种。 |
2楼2013-08-22 17:29:55
