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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 关于MEMS器件
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upcmychen

金虫 (小有名气)

[交流] 关于MEMS器件 已有10人参与

马上要上研一了，导师是做MEMS器件的，而我本科学的是金属材料， 主要是腐蚀方向， 现在在导师这实习，师兄师姐都在做一些光刻之类的东西，但我对MEMS很陌生，要重新开始了，请问一下关于MEMS器件的国内外概况，推荐一下相关书籍，跟大家交流探讨一下，谢谢大家了！
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穷则独善其身，达则兼济天下
1楼 2013-08-13 11:30:47
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fchen01

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
MEME工艺，跟着师兄师姐一起做做实验
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2楼2013-08-13 12:43:30
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nofrunolif

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
主要用哪些工艺，技术？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2013-08-13 13:48:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先看半导体工艺书，再看器件结构的科普书。
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4楼2013-08-13 14:21:17
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
微加工本身来说只是一种手段，关键还是要看实现的应用
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5楼2013-08-13 14:25:02
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upcmychen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by fchen01 at 2013-08-13 12:43:30
MEME工艺，跟着师兄师姐一起做做实验

我看他们也只是做导师给的实验，有没有关于ＭＥＭＳ的书籍？可以参考一下，谢谢啦！
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穷则独善其身，达则兼济天下
6楼2013-08-13 15:48:48
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upcmychen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by nofrunolif at 2013-08-13 13:48:31
主要用哪些工艺，技术？

对，哪些工艺跟技术？有没有这方面的书
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穷则独善其身，达则兼济天下
7楼2013-08-13 15:51:23
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upcmychen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2013-08-13 14:25:02
微加工本身来说只是一种手段，关键还是要看实现的应用

也就是说根据实际加工的器件来确定工艺流程？有哪些工艺呢
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穷则独善其身，达则兼济天下
8楼2013-08-13 15:54:12
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welljay

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
传感器的吧，有的是专门研究多孔硅的，你懂得。。。老板给你方向你才会有方向，神马书都是次要的
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9楼2013-08-13 20:11:37
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upcmychen

金虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by welljay at 2013-08-13 20:11:37
传感器的吧，有的是专门研究多孔硅的，你懂得。。。老板给你方向你才会有方向，神马书都是次要的

是传感器, 貌似有道理啊!
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穷则独善其身，达则兼济天下
10楼2013-08-14 09:06:50
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