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upcmychen

金虫 (小有名气)

[交流] 关于MEMS器件已有10人参与

马上要上研一了,导师是做MEMS器件的,而我本科学的是金属材料, 主要是腐蚀方向, 现在在导师这实习,师兄师姐都在做一些光刻之类的东西,但我对MEMS很陌生,要重新开始了,请问一下关于MEMS器件的国内外概况,推荐一下相关书籍,跟大家交流探讨一下,谢谢大家了!
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穷则独善其身,达则兼济天下
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fchen01

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
MEME工艺,跟着师兄师姐一起做做实验
2楼2013-08-13 12:43:30
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nofrunolif

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
主要用哪些工艺,技术?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-08-13 13:48:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
先看半导体工艺书,再看器件结构的科普书。
4楼2013-08-13 14:21:17
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
微加工本身来说只是一种手段,关键还是要看实现的应用
5楼2013-08-13 14:25:02
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upcmychen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by fchen01 at 2013-08-13 12:43:30
MEME工艺,跟着师兄师姐一起做做实验

我看他们也只是做导师给的实验,有没有关于MEMS的书籍?可以参考一下,谢谢啦!
穷则独善其身,达则兼济天下
6楼2013-08-13 15:48:48
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upcmychen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by nofrunolif at 2013-08-13 13:48:31
主要用哪些工艺,技术?

对,哪些工艺跟技术?有没有这方面的书
穷则独善其身,达则兼济天下
7楼2013-08-13 15:51:23
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upcmychen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2013-08-13 14:25:02
微加工本身来说只是一种手段,关键还是要看实现的应用

也就是说根据实际加工的器件来确定工艺流程?有哪些工艺呢
穷则独善其身,达则兼济天下
8楼2013-08-13 15:54:12
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welljay

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
传感器的吧,有的是专门研究多孔硅的,你懂得。。。老板给你方向你才会有方向,神马书都是次要的
9楼2013-08-13 20:11:37
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upcmychen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by welljay at 2013-08-13 20:11:37
传感器的吧,有的是专门研究多孔硅的,你懂得。。。老板给你方向你才会有方向,神马书都是次要的

是传感器, 貌似有道理啊!
穷则独善其身,达则兼济天下
10楼2013-08-14 09:06:50
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