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关于MEMS器件 已有10人参与
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| 马上要上研一了，导师是做MEMS器件的，而我本科学的是金属材料， 主要是腐蚀方向， 现在在导师这实习，师兄师姐都在做一些光刻之类的东西，但我对MEMS很陌生，要重新开始了，请问一下关于MEMS器件的国内外概况，推荐一下相关书籍，跟大家交流探讨一下，谢谢大家了！ |
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