关于MEMS器件 - 微米和纳米 - 微纳器件 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

15501697107

11楼2013-08-14 10:30:36

静静一yi

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半导体工艺科普书

15501697107

12楼2013-08-14 10:30:58

静静一yi

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楼主，硅片，光刻胶等~
也可以考虑在我这买些~~呵呵
苏州锐材~我们专业供应科研耗材~
而且在苏州纳米所这边，质量你可以放心使用。

15501697107

13楼2013-08-14 10:32:00

upcmychen

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11楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-14 10:30:36
我有半导体物理~PDF要不要给你传一份~~

好的，mychenstu@gmail.com，谢谢啦！

穷则独善其身，达则兼济天下

14楼2013-08-14 11:32:41

upcmychen

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引用回帖:

13楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-14 10:32:00
楼主，硅片，光刻胶等~
也可以考虑在我这买些~~呵呵
苏州锐材~我们专业供应科研耗材~
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...

以后要买就联系你了

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15楼2013-08-14 11:34:13

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12楼: Originally posted by 静静一yi at 2013-08-14 10:30:58
半导体工艺科普书

好的, 谢谢!

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16楼2013-08-14 11:35:25

ghzhan

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《微传感器与微执行器》和《微纳尺度制造工程》

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17楼2013-10-08 13:13:05

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17楼: Originally posted by ghzhan at 2013-10-08 13:13:05
《微传感器与微执行器》和《微纳尺度制造工程》

谢谢

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18楼2013-10-08 19:34:35

chinerican

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MEMS工艺总共也就那么几种工艺，圆片清洗，光刻，金属薄膜溅射或蒸发，PECVD，LPCVD，湿法腐蚀，干法刻蚀，键合等等，不过需要自己掌握的一般就清洗，光刻，腐蚀那几个步骤，因为其他的都是专门的设备来完成，一般不会让学生操作，太金贵了。

19楼2013-11-30 14:01:07

尹聪19911023

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你好，我和你一样，本科金属材料，主模具方向，现在做微器件，导师让我找方向，想来想去，我觉得传感器与实际应用比较契合。只是现在，我和你一样，比较迷茫，感觉什么都不会。希望你得到什么消息或资料呢能分享给我一下，谢谢了！我QQ710955536

20楼2014-09-03 18:50:51