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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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upcmychen

金虫 (小有名气)

[交流] 关于MEMS器件 已有10人参与

马上要上研一了,导师是做MEMS器件的,而我本科学的是金属材料, 主要是腐蚀方向, 现在在导师这实习,师兄师姐都在做一些光刻之类的东西,但我对MEMS很陌生,要重新开始了,请问一下关于MEMS器件的国内外概况,推荐一下相关书籍,跟大家交流探讨一下,谢谢大家了!
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穷则独善其身,达则兼济天下
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upcmychen

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by reninhat at 2013-08-13 14:25:02
微加工本身来说只是一种手段,关键还是要看实现的应用

也就是说根据实际加工的器件来确定工艺流程?有哪些工艺呢
穷则独善其身,达则兼济天下
8楼2013-08-13 15:54:12
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fchen01

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
MEME工艺,跟着师兄师姐一起做做实验
2楼2013-08-13 12:43:30
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nofrunolif

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
主要用哪些工艺,技术?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2013-08-13 13:48:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
先看半导体工艺书,再看器件结构的科普书。
4楼2013-08-13 14:21:17
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